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光栅测量系统 倪霞林 机械工程及自动化学院 第一页，编辑于星期三：十点 四十八分。 THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 数字信号检测系统的组成 数字信号检测系统的组成 传 感 器 整 形 电 路 放 大 器 细 分 电 路 脉冲 当量 变 换 电 路 计 数 器 寄 存 器 计 算 机 显示 执行 机 构 辨向电路 数字信号检测系统的组成 细 分 电 路 第二页，编辑于星期三：十点 四十八分。 THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅数字式传感器 光栅是由很多等节距的透光的缝隙或不透光的刻线均匀、相间排列而成的光电器件。 20线-150线/mm 25线-50线/mm 透射式 反射式 为光栅常数，也称光栅栅距。 数字信号检测系统的组成 第三页，编辑于星期三：十点 四十八分。 THE COLLEGE OF MECHANICAL ENGINEERING AUTOMATION,FUZHOU UNIVERSITY 机电一体化技术 光栅的分类 按用途分 物理光栅 计量光栅 利用光的衍射现象，主要用于光谱分析、光波长测量。 利用莫尔条纹现象，主要用于长度、角度、速度、加速度、振动等物理量的测量。 计量光栅 长光栅 圆光栅 用于长度测量 用于角度测量 按光的走向 透射式光栅 反射式光栅 按栅线的形式 黑白光栅（幅值光栅） 闪耀光栅（相位光栅） 径向光栅 切向光栅 环形光栅 第四页，编辑于星期三：十点 四十八分。 长光栅 直线位移 圆光栅 角位移 构成： 主光栅 标尺光栅，定光栅 指示光栅 动光栅 长度 测量范围； 刻线密度 测量精度 ( 10、25、50、100、1