微细电火花加工技术的研究.pdf

微细电火花加工技术研究 李勇郭曼王显军严晓敏胡敏 消华人学精密仪器与机械学系 北京市海淀区清华园100084

摘要：本文内容包括微细电火花加j：装置的开发和加：[工艺技术研究。在开发出由蠕动式微进

给机构、微小能鼙放电电源、微小电极线放电磨削制作机构、精密旋转主轴头、加．1：状态检测

与控制系统等构成的微细电火花加上装置的基础上，探讨了微细电火花加工微小轴([具电

极)、高深宽比微小孔以及三维结构成型等的]：艺方法。

关键词：微细电火花加‘1_=，蠕动式微进给机构，微小轴，微小孔，微亚!机械 1前言 1E是制造技术的进步及相关基础技术的成熟，导致了微型机电系统(MEMs)，微型机械技术

领域的崛起发展。砖微细加f：、LIGAr艺、微细电火花加f．：以及光成型等微细加．f：技术的研究

开发一直是微耍!机LH系统／微型机械领域的主要研究课题。迄今各种微细加J二技术在批量制作、

与电路集成、高深宽比和三维成型加J二等方面各具长短，适于微型致动器乃至微孤!机器人制作

的加l：技术亟待开发。 电火花加J：由丁’其非接触加l一的特点，作为一种有前途的微型机械制造方法引人注目。曰

本尔京火学率先开发出微小Lb极线放电磨削C艺”，为实现微细电火花加r：解决了关键的技术

课题，并在微细屯火花加川：艺方面进行了成功的研究开发。 以研究开发适丁微型致动器乃至微型机器人制作的微型机械制造技术为目的，近年来我们

选择了微细电火花加|I：技术的研究。本研究基丁-微细电火花加工实川化着”装置本身微小删化的

考虑，首先研究开发出一种采州蠕动式微进给机构的微细电火花加工装置，在此基础上进行了

微细电火花加J：微小轴(一l：具Ll；}极)、高深宽比微小孔以及三维结构成型等的1．艺方法研究。

2微细电火花加工装置 实现微细电火花加I：的关键在于微小电极的在线制作、电极的精密伺服进给、放电能苟的