基于输入整形技术的固晶机柔性臂减振研究-控制科学与工程专业论文.docx

Classified Index: TH113.2 U.D.C: 621

Dissertation for the Master Degree of Engineering

REDUCING VIBRATION OF A FLEXIBLE ARM IN DIE BONDER BASED ON INPUT SHAPING

Candidate:Hua Huang

Candidate:

Hua Huang

Supervisor: Prof. Yu Wa

Academic Degree Applied for: Master of En

Specialty: Control Scie

Affiliation: Shenzhen Gr

Date of Defence: December, 2

Degree-Conferring-Institution: Harbin Instit

nce and Engineering aduate School

009

ute of Technology

I

I

摘 要

输入整形技术能有效抑制低阻尼柔性系统的残余振荡。因其应用简便，对建立 模型不确定性的鲁棒性好，从而在高速高精度的运动控制定位系统中得到了广泛的 应用。

论文首先介绍了输入整形的基本概念，并阐述了其设计的方法和步骤，进一步 说明了其能够抑制系统残余振荡的原因。然后通过仿真对比和实验验证的方法，对 输入整形器的鲁棒性进行分析，并得到了对实际工程应用具有一定参考价值的仿真 结果。由于固晶机柔性拾取臂在高速运动时的残余振荡会影响产品工艺质量，本文 针对这一问题，采用输入整形技术对其进行控制。