文档介绍
谢谢大家！ Thank You! 二、电子束、离子束和激光加工 可用于刻蚀、打孔、切割、焊接、表面处理和表面改性等． 电子束加工时，被加速的电子将其能量转化成热能以去除穿透层表面的原子，电子束可以聚焦成很小的束班(中0.1?m)，照射敏感材料，用电子刻蚀可加工出0.1? m的线条宽度而在制造集成电路中实际应用。 电子束和离子束加工 离子束加工时，因离子直径为0.1n m数量级，故可以直接将工件表面原子碰撞出去达到加工的目的。用聚焦的离子束进行刻蚀，可以得到精确的形状和纳米级的线条宽度。 电子束加工 电子束利用热效应加工 高速和高能量密度的电子束冲击工件表面，在几分之一秒内与原字相互作用。 电子与原子碰撞，使原子振动产生发热现象 几乎所有的能量都转化为热能。 由于电子束能量密度高，作用时间短，所产生的热量来不及传导、扩散就将工件被冲击部分局部熔化、汽化、蒸发成雾状粒子而飞散。 电子束加工原理图 控制栅极 加速阳极 电子束斑点 旁热阴极 聚焦系统 工件 工作台 电子束加工 电子束加工特点 束径小，能量密度高，能微细聚焦（0.01?m），适合于加工深孔、细深孔、窄缝。 热影响范围小，适合于硬、脆、软、韧金属和非金属材料、热敏材料、半导体材料、易氧化材料等加工。原则上各种材料均能加工，特别适用于加工特硬、难熔金属和非金属材料。 加工速度快，效率高。非接触加工，无工具损耗；无切削力，加工时间极短，控制性能好，易于实现自动化。 可用于打孔、切槽、焊接、光刻、表面改性。 在真空中加工，无氧化，特别适于加工高纯度半导体材料和易氧化的金属及合金。 加工设备较复杂，投资较大。多用于微细加工 离子束加工 离子束利用力效应加工 离子质量远远大于电子，加速较慢，但一旦加速后，具有远远高于电子的能量。 质量大、动能高的离子冲击工件表面，将产生弹性碰撞，将能量传递给工件的原子和分子，使原子和分子产生溅射