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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号CN212625534U(45)授权公告日2021.02.26(21)申请号202021834499.3(22)申请日2020.08.26(73)专利权人深圳市微恒自动化设备有限公司地址518000广东省深圳市龙岗区平湖街道辅城坳社区富盛路14号B栋101、201、202、301(72)发明人唐文轩 黄国洪 王平 (74)专利代理机构深圳市中科创为专利代理有限公司44384代理人彭西洋 谢亮(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)H01L21/683(2006.01)H01L21/67(2006.01)(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利权利要求书1页说明书3页附图2页(54)实用新型名称一种固晶机的无冲击力顶针装置(57)摘要本实用新型公开一种固晶机的无冲击力顶针装置，包括基座、顶针、顶针驱动机构、顶针帽和顶针帽驱动机构，所述顶针帽安装于基座的顶部，该顶针帽上设有真空孔；所述顶针帽驱动机构安装于顶针帽的底部，用于控制顶针帽运动；所述顶针安装于顶针帽上的真空孔内，所述顶针驱动机构安装于基座上，其位于顶针的底部，用于控制顶针运动。本实用新型的顶针装置采用晶膜脱离晶片的方式，拥有顶针初始高度调节精确、方便，采用顶针帽下降运动的方式，在实现晶膜脱离晶片过程中，顶针对晶片冲击力更小，吸晶精度更高、品质更好、效率更高。U435526212NCCN212625534U权 利 要 求 书1/1页1.一种固晶机的无冲击力顶针装置，其特征在于：包括基座、顶针、顶针驱动机构、顶针帽和顶针帽驱动机构，所述顶针帽安装于基座的顶部，该顶针帽上设有真空孔；所述顶针帽驱动机构安装于顶针帽的底部，用于控制顶针帽运动；所述顶针安装于顶针帽上的真空孔内，所述顶针驱动机构安装于基座上，其位于顶针的底部，用于控制顶