第5章-压电式传感器..ppt

§5-1 压电效应 ; 一、石英晶体压电效应 ; 从石英晶体上切下一片平行六面体——晶体切片，使它的晶面分别平行于X、Y、Z轴，如右图所示。并在垂直X轴方向两面用真空镀膜或沉银法得到电极面。 ; §5-1 压电效应 ; §5-1 压电效应 ; §5-1 逆压电效应 ; 由上述可知： ①无论是正或逆压电效应，其作用力(或应变)与电荷(或电场强度)之间呈线性关系； ②晶体在哪个方向上有正压电效应，则在此方向上一定存在逆压电效应；（正压电效应存在，逆压电效应必存在，反之而不对。） ③石英晶体不是在任何方向都存在压电效应的。 ; §5-2 压电材料 ; 一、石英晶体 ; 二、压电陶瓷;材 料; §5-3 压电式传感器的测量电路 一、等效电路;(b)电荷等效电路; §5-3 压电式传感器的测量电路 一、等效电路;将压电传感器和测量仪器连接时，考虑： 连接导线的等效电容、电阻； 前置放大器的输入电阻、输入电容

的完整电荷等效电路。 ; §5-3 压电式传感器的测量电路 二、测量电路;;;电压灵敏度;电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器。; 若考虑电缆电容Cc，则有

; §5-3 压电式传感器的测量电路 二、测量电路;1.分析用 近似误差与运放放大倍数的关系。;当工作频率ω很低时，分母中的电导[1/Ra+(1+A0)/RF]与电纳 jω[Ca+Cc+(1+A0)CF]相比不可忽略。此时电荷放大器的输出电压USC就成为一复数，其幅值和相位都将与工作频率ω有关，即 ; §5-4 压电式传感器的应用 ;