芯片显微自动拍照技术及其系统设计研究.doc

硕 士 学 位 论 文

芯片显微自动拍照技术

及其系统设计研究

Research and Design of Microscopic IC Photo Auto-taking System

指导教师姓名：

专 业 名 称：电路与系统

论文提交日期：20**年5月

论文答辩时间：20**年5月

学位授予日期：20**年7月

答辩委员会主席：

评 阅 人：

20**年5月

PAGE 92

PAGE 91

摘 要

科技的发展，使芯片大大改善了我们的工作效率以及生活起居等。芯片反向工程作为借鉴国内外先进的芯片设计技术的一种方式而备受关注，而芯片显微拍照和图像拼接工作是芯片反向工程顺利进行的前提。随着芯片集成度的提高，采用自动化的方式，提高反向工程的效率，已成必然趋势。本文的工作就是搭建芯片显微自动拍照系统，解决自动聚焦、运动控制、图像拼接等问题，以提高反向设计的效率，实现芯片显微拍照的自动化。

本论文首先介绍了自动聚焦技术的基本原理，并在分析对比传统的自动聚焦算法的基础上，提出一个具有普遍意义的自动聚焦优化算子，以满足各种不同场合的聚焦需求；其次根据先进的计算动词理论，设计了一套计算动词控制规律以及相应的控制器模型修正算法，大大提高了自动拍照系统的控制效率以及鲁棒性；接着阐述了图像拼接、图像融合的基本原理；然后按照模块划分的方式，说明了整个芯片显微自动拍照系统的具体设计方案，提出了基于阈值的图像误匹配点去除方法；最后给出了整个系统的操作说明书、实例测试以及相应的实验数据，说明本设计的有效性。

本论文的特色与创新点主要体现在以下几个方面：

根据自动聚焦算法的共同特征，提出了一个具有普遍优化意义的自动聚焦优化算子，解决图像清晰度判断的问题，在增加少许计算量的情况下，改善各种传统自动聚焦算法的灵敏度。