文档介绍
扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱（EDS）组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。 引 言 放大倍率高（30 ~ 800,000） 分辨率高（1.0nm(15 kV)） 景深大（比一般光学显微镜景深大100～500倍，比透射电子显微镜的景深大10倍。） 保真度好 样品制备简单 2 聚光器 扫描线圈 物镜 样品室 真空泵 增幅器 锯齿波发生器 电子束 扫描线圈 监视器 离子泵 样品 电子枪 二次电子 消像散线圈 探头 样 品 入射电子 Auger电子 阴极发光 背散射电子 二次电子 X射线 透射电子 二次电子随原子序数Z的变化 二次电子 背散射电子 二次电子形貌衬度的形成原理： 6 根据上述原理图画出的 二次电子形貌衬度示意图 若样品上： 1. B 面的倾斜度最小， 二次电子产额最少，亮度最低。 2. A 面倾斜度次之，亮度为灰色。 3. C 面倾斜度最大，亮度也最大。 样品表面倾斜度越小，二次电子产额越少，亮度越低， 反之，样品表面倾斜度越大，二次电子产额越多，亮度越 大。 各种情况小结 离心清洗，去掉杂质； 超声分散，选取适当浓度； 对样品充分烘干，而且要用强风吹去那些粘结不牢的小颗粒； 对于导电性非常差的样品表面要镀金。 LensMode=Normal Condencer1=11000 LensMode=High Condencer1=1000