如何获得一张高质量SEM照片.ppt

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文档介绍

扫描电子显微镜的简称为扫描电镜,英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面,通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱(EDS)组合,可以进行成分分析。所以,SEM也是显微结构分析的主要仪器,已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。 引  言 放大倍率高(30 ~ 800,000) 分辨率高(1.0nm(15 kV)) 景深大(比一般光学显微镜景深大100~500倍,比透射电子显微镜的景深大10倍。) 保真度好 样品制备简单 2 聚光器 扫描线圈 物镜 样品室 真空泵 增幅器 锯齿波发生器 电子束 扫描线圈 监视器 离子泵 样品 电子枪 二次电子 消像散线圈 探头 样  品 入射电子 Auger电子 阴极发光 背散射电子 二次电子 X射线 透射电子 二次电子随原子序数Z的变化 二次电子 背散射电子 二次电子形貌衬度的形成原理: 6 根据上述原理图画出的 二次电子形貌衬度示意图 若样品上: 1. B 面的倾斜度最小, 二次电子产额最少,亮度最低。 2. A 面倾斜度次之,亮度为灰色。 3. C 面倾斜度最大,亮度也最大。 样品表面倾斜度越小,二次电子产额越少,亮度越低, 反之,样品表面倾斜度越大,二次电子产额越多,亮度越 大。 各种情况小结 离心清洗,去掉杂质; 超声分散,选取适当浓度; 对样品充分烘干,而且要用强风吹去那些粘结不牢的小颗粒; 对于导电性非常差的样品表面要镀金。 LensMode=Normal Condencer1=11000 LensMode=High Condencer1=1000

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