实验二钢的淬火回火工艺及组织与性能.pptx

实验二;一、实验目的

二、实验内容

三、实验仪器设备和材料

四、实验原理

五、实验方法和步骤

六、实验报告要求

七、实验注意事项

八、思考题;一、实验目的;二、实验内容;三、实验仪器设备和材料;直流辉光放电PECVD沉积系统示意图 ;主要组件：真空室组件、直流电源、基片水冷加热台、窗口及法兰接口部件、工作气路、抽气机组（机械泵和分子泵）、阀门及管道、真空测量及电控系统。;四、实验原理;４.1 化学气相沉积制备薄膜介绍：;（１）气体放电：;（２）气体放电的伏安特性曲线：;（３）等离子体增强化学气相沉积（ PECVD）： 在低压化学气相沉积过程的同时，利用气体放电产生等离子体 并对沉积过程施加影响的薄膜制备技术。;（５）直流辉光放电PECVD沉积原理：;４.３类金刚石薄膜介绍：;（2）类金刚石薄膜结构：;性能;;五、实验方法和步骤;（6）真空度达到所需要的本底真空度后，关闭分子泵，机械泵仍然工作。打开气瓶，开始通入Ar 和CH4或C2H2气体，通过质量流量控制器控制Ar/CH4或Ar/C2H2的比例。;六、实验报告要求;七、实验注意事项;八、思考题;相关资源链接：;9、春去春又回，新桃换旧符。在那桃花盛开的地方，在这醉人芬芳的季节，愿你生活像春天一样阳光，心情像桃花一样美丽，日子像桃子一样甜蜜。7月-217月-21Friday, July 30, 2021

10、人的志向通常和他们的能力成正比例。03:21:3203:21:3203:217/30/2021 3:21:32 AM

11、夫学须志也，才须学也，非学无以广才，非志无以成学。7月-2103:21:3203:21Jul-2130-Jul-21

12、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。03:21:3203:21:3203:21Friday, July 30, 2021