ISO14644国际标准(中文版).doc
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ISO14644国际标准(中文版).doc

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上传时间:2019-10-16上传者:wenmingaaa
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文档介绍:

前言

ISO为全球各国标准化团体(ISO 会员团体)的联合会。其国际标准工作一般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织,无论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员会(IEC)在电气技术标准化方面进行紧密合作。

国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅,以待表决。草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。

国际标准ISO 14644-1由ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会提出。

ISO 14644在洁净室及相关受控环境 的总标题下,由下述各部分组成:

第1部分:空气洁净度等级划分

第2部分:为认证与ISO 14644-1 连续的相符性的测试和监测技术要求

第3部分:计量和测试方法

第4部分:设计、施工和启动

第5部分:运行

第6部分:术语和定义

第7部分:增强的洁净装置

用户应注意,第2至第7部分的标题为第1部分发行时的工作标题。如果从工作计划中删除了一部分或几部分,剩余部分可以重新编写。

附录B和C为ISO 14644的组成部分,附录A、D、E和F仅作资料用。

引言

洁净室及相关受控环境保证空气中悬浮粒子被控制在合适的级别,以确保完成对污染敏感的有关活动。以下行业的产品和工艺均得益于空气中悬浮污染物的控制:航天、微电子、医药、医疗器械、食品和保健品。

ISO 14644的本部分指定ISO分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求。本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法。

为划分等级,ISO 14644的本部分仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围。本部分还提供了标准协议,以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识。

ISO 14644的本部分为洁净
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