文档介绍
动力系统—简介 目录 一、前言 一个问题 对比图 二、动力系统的作用及组成 厂区平面图 三、各系统简介 （一）、洁净室及净化空调系统 洁净室 洁净厂房 受控粒径0.12um 洁净厂房的重要概念 洁净厂房出入路线图 洁净室安全卫生管制 保证洁净室内洁净度的措施 保证人净的措施 空气吹淋室 保证进入洁净室物料的净化 保证进入洁净室的空气是洁净的 尽量减少洁净室的产尘量 保证对洁净室内的定期清扫 洁净室运行管理制度 （二）、化学品及输送系统 工艺流程 系统说明 DAY TANK SUPPLY DILUTION SUPPLY （三）、大宗气体及输送系统 N2工艺流程 O2工艺流程 H2工艺流程 系统的组成 系统设施的组成 系统的基本要求 管道、设备布置图 （四）、特气及输送系统 简介 特气中央供气系统种类 系统的组成 设备的基本配置 1、气瓶柜/气瓶架 2、VMB/VMP 系统的基本要求 2、系统管材的要求 3、其它要求 管道、设备平面布置图 安全预防 （五）、给排水系统 给水系统 （六）、超纯水系统 什么是超纯水 超纯水水质标准 饮用纯净水水质标准 纯水系统流程 （七）、工艺冷却水系统 系统流程 系统概述 循环水箱 （八）、CDA系统 CDA系统流程图 无油空气压缩机系统流程图 冷冻除湿机 过滤器 （九）、真空系统 系统流程 HV 真空概述 （十）、废水处理系统 工艺流程 设计进水水量水质 氢氟酸废水 纯水站反冲洗水 设计出水水质 废水处理站区安全事项 （十一）、废气处理系统 洗涤塔 有机废气处理流程 立式吸附塔 酸、碱、有机废气的处理 （十二）、空调冷冻水系统 离心式冷水机组WSC126 螺杆式冷水机组PFS.390.3 泵设备 辅助设施 （十三）、空调热水系统 系统简图 （十四）、循环冷却水系统 （十五）、强电系统 10KV系统图 380V/208V系统图 系统介绍 停送电流