文档介绍
TEM成像原理 阿贝成像原理的两步过程 Airy斑与分辨率 Airy斑与分辨率 电子波波长与TEM理论分辨极限 电子波波长与TEM理论分辨极限 电磁透镜的像差与实际分辨本领 电磁透镜的像差 电磁透镜的像差 电磁透镜的像差 分辨本领 电磁透镜的分辨本领 电磁透镜的景深和焦长 静电透镜 将两个同轴圆筒带上不同电荷（处于不同电位），两个圆筒之间形成一系列弧形等电位面族，当电子在电场中运动，由于电场力的作用，电子会发生折射。散射的电子在圆筒内运动时受电场力作用在等电位面处发生折射并会聚于一点。这样就构成了一个最简单的静电透镜。 透射电子显微镜中的电子枪一般采用静电透镜形式。 电磁透镜 电磁透镜的焦距 电磁透镜的放大倍数 中心暗场成像方法 汇聚束电子衍射成像（CBED） 相机常数选择 由于STEM HAADF像是非相干像，相机常数必须足够小，使所有的衍射盘落入环形探测器内孔之中。 TEM与STEM分析特点比较 试样 物镜 后焦面 像平面 入射电子束 TEM成像原理 试样 像平面 入射电子束 STEM成像原理 TEM-HREM：平行电子束入射样品上，多束成像（至少两束），相干像，图像衬度随着样品厚度和欠焦量变化发生反转； STEM-HAADF：会聚电子束在样品上逐点扫描，主要收集大散射 角电子束，形成非相干像，图像随着样品厚度和欠焦量变化出现或不出现； STEM-BF：会聚电子束在样品上逐点扫描，主要收集相干束成像，图像随着样品厚度和欠焦量变化出现或不出现是fake TEM； HRTEM、STEM-HAADF、STEM-BF小结 （000） （hkl） （000） （hkl） 与扫描电镜不同，透射电镜的放大倍数将随样品平面高度、加速电压、透镜电流而变化，必须进行标定。 放大倍数 最常用的方法是用衍射光栅复型作为标样，在一定条件(加速电压、透镜电流等)下，拍摄标样的放大像。 如果对样品放