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检验与测试 Inspection＆Test 印制电路信息 2012No． 5 _解析S深E圳(M崇达&翟多青层E霞线路D黄板海有S蛟限分公刘司析，东广东刘原深克敢圳理581及132)应用 摘 要 从原理和应用实例方面对SEM&EDS在PCBfi~制程控制中的应用做 了简单介绍。 关键词 SEM；EDS；PCBSU程；分析原理 中图分类号：TN41 文献标识码 ：A 文章编号：1009—0096(2012)05—0066—05 Analysisthetheoryandapplication0fSEM andEDSanalyticalmethod ZHAIQing-xia HUANGHai-jiao LIUDong LIUKe—rain Abstract Thispapersimply introducedtheuseofSEM andEDSanalyticalmethodsduringthe manufacturingprocess，throughtheintroductionoftheoryandusingexamples． Keywords SEM；EDS；PCBManufacturingProcess；Analysisprinciple l 刖 舌 能快速 、同时对各种试样的微区内的所有元素进行 定性、定量分析。SEM&EDS在定性、定量分析时， 近年来 ，半导体大规模集成 电路技术迅速发展 ， 是利用束径 (10～1)Ixm范 围的高能电子束 ，激发出 电子设备向着轻量化、小型化和多功能化方向转变， 试样pm范围的各种信息，进行成份 、形貌等分析 。 致使PCB加工层次也越来越高，产品对PCB导线覆盖 成分分析的空间分辨率在立方 m范围，微区分析是 的完整性及信号传输特性提出了更高的要求，PCB可 其重要特点之一，它能将微区化学成份与显微结构