TiO2基气敏元件工作温度影响机理.pdf
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第 14卷第6期 功能材料与器件学报 V01.14.No.6
2008年 12月 JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSAND DEVICES Dec..2008
文章编号:1007—4252(2008)06—1044—05 TiO2基气敏元件工作温度影响机理 曾文 ,林志东 一,张宏 ,艾华 (1.武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室,武汉430073 2.兰州理工大学 甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室,兰州730050) 摘要:对TiO 基气敏材料的能带结构及测试气体分子轨道能量进行理论计算,结合实验,对TiO 一 SnO 复合材料气敏元件工作温度的影响机理进行理论研究。结果表明:掺杂使TiO 能带带隙中 产生掺杂能带,导带产生负移,有利于电子热激发。对比未掺杂TiO 气敏元件,在工作温度为 260℃时,掺杂使TiO,元件 电阻值 由44.5MQ下降到22.5MO。气体分子LUMO能级降低,有利于 降低气敏反应的活化能,从而降低气敏元件的工作温度及提高灵敏度。 关键词 :工作温度;二氧化钛 ;能带结构;分子轨道 中图分类号:TH867 文献标识码 :A Impactingmechanism ofoperatingtemperatureofTiO2一basedsensor ZengWen ,LinZhi—dong一 ,ZhangHong (1.ProvincialKeyLaboratoryofPlasmaChemistryand AdvancedMaterials,WuhanInstituteofTechnology,Wuhan430074,China; 2.StateKeyLaboratoryofGansuAdvancedNon—Fe~ousMetalMaterials, LanzhouUniversityofTechnoloyg,L